INFICON 干式氦氣檢漏儀

UL5000干式氦氣檢漏儀  的詳細介紹

檢漏過程中可定義速度和精度

INFICON UL5000 氦氣檢漏儀設計用于滿足zui關鍵和zui苛刻的檢漏應用。通過在經現場驗證的真空設計中采用 INFICON 軟件算法 I-CAL 和 Hydro-S，UL5000 提供測試靈活性、高靈敏度和快速、精確的測量結果，使得所有檢漏應用更迅速、容易。

該 UL5000 在所有測量范圍中提供快速響應時間，并提供極短的周期時間以達到測試條件和zui終結果。特別設計的真空結構提供持續、較高的氦氣抽氣能力及極快的響應時間。

功能

• HYDRO-S（氫氣抑制）可確保快速滿足所有測試條件。

• I-CAL（智能 - 泄漏率計算法）確保了在所有測量范圍中提供快速泄漏響應。

• 特殊的多入口渦輪分子泵可提供優化的較高氦氣抽氣能力及全壓力范圍內的高氦氣壓縮比，實現了靈敏度、響應度和快速清潔性。

• 增壓渦輪分子泵可對所有測試對象做出極快響應，包括zui大容量和腔室。

• 經現場驗證的 INFICON 扇形磁場質譜儀多年以來的精確、可重復結果實現了*、免維護的設計。

• 自保護功能可防止 UL5000 受到氦氣和微粒的污染，自動吹掃循環可確保 UL5000 的隨時可用性。

• 旋轉式顯示器/控制界面和可選配的手持遙控器實現了操作靈活性。

• 裝置和系統軟件的訪問控制可通過軟件激活，防止未授權使用或測試設置的意外修改。

• 通過電子郵件進行的軟件更新可確保您的 UL5000 發揮*性能。

• 具有*高度工作面的工作站設計以及 ESD 臺墊和工具箱實現了測試便利性。

典型應用

• 半導體和平板顯示裝置上使用的測漏部件、配件和大型腔室

• 檢漏半導體和平板工具

• 檢漏航空部件、配件和系統

• 檢漏儲存容器/儲存罐