1179A MKS1179A MKS1179A質(zhì)量流量計

1179A MKS1179A MKS1179A質(zhì)量流量計

1179A MKS1179A MKS1179A質(zhì)量流量計的概述：

1179A是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器，可在多種應(yīng)用場合測量和控制氣體的流量，特別是可重復(fù)性要求高的場合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。
對于當(dāng)今市場上的質(zhì)量流量控制器，1179A可作為直接替代的產(chǎn)品，標(biāo)準(zhǔn)的3英寸底座使1179能夠直接進(jìn)行安裝而無需改變現(xiàn)有的氣體管道。它具有數(shù)字和模擬兩種模式，其精度為全量程的1%。

1179A MKS1179A MKS1179A質(zhì)量流量計的技術(shù)參數(shù)：

材質(zhì)：316不銹鋼
靈敏度：全量程的0.1%
連接器：模擬：9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
       數(shù)字：RS485或Device net或Profibus
質(zhì)保期：有限保修自售出之日起12個月。
熱機(jī)時間：小于2Min.MKS壓力計
控制量程：2%to的全量程。
測量精度：全量程的1%
響應(yīng)速度：小于2Sec.
輸入電壓：±15VDC@100ma
輸出電壓：0-5VDC
法蘭接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4"等
全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。

1179A MKS1179A MKS1179A質(zhì)量流量計的型號及采購序列：
例：型號1179A00411CR1A5VXX        采購序列號

校準(zhǔn)氣體（SEMI氣體編號）*
Helium, He                        001
Argon, Ar                         004
Hydrogen, H2                      007
Nitrogen, N2                      013
Oxygen, O2                        015

1179A的具體型號說明：