EDWARDS干式真空泵

GV80 Edwards干式真空泵

DRYSTAR 80的結構由一級羅茨級及多級反向爪式級組成。泵的入口設置單級羅茨級，后面是三級爪式級，使得低壓區的效率更高。反向的第二級爪子設計使得*級爪子的出口與第二級的入口成一直線，實現zui直接zui短的氣路。短程、簡便和高導氣率的氣體通道有助于提高真空性能和電能利用，能取得的可凝蒸汽和微粒處理能力。

DRYSTAR 80的三級爪型結構能實現真正的無接觸、自閥（有助于輕質氣體抽吸）、自清潔（適用于苛刻環境或產生微粒的應用）和優化的內部溫度分布（有助于提高蒸汽處理能力）；同時保證泵能從大氣壓開始連續以額定值運行。

DRYSTAR 80配有軸封吹掃裝置（N2或壓縮干空氣CDA），在泵的掃過容積和油齒輪箱之間形成一個氣障，避免工藝氣體進入密封，并防止齒輪箱的油進入掃過容積，保證很高的清潔度。在沒有壓縮氣體供應的地方，如果運行壓力持續低于133毫巴（100托），且不存在有毒、易燃或腐蝕性氣體時，可使用大氣密封吹掃包。

Edwards EH/QMB500機械增壓泵采用*的液力驅動裝置，在泵和電機之間提供高效的流體動力傳輸。在高壓時，泵自動減慢速度，避免泵過熱或電機過載。增壓泵可以和DRYSTAR 80同時啟動，立即開始協助泵的抽氣工作。因為不需要壓力開關或旁通閥，達到某一特定壓力的抽空時間將大大縮短。EH/QMB500具有對操作失誤和工藝不穩定的保護功能，空氣的突然涌入僅僅使轉子速度減慢，而電機仍將以正常運行速度工作。進入固體物質造成轉子卡住時，電機也不會過載。

干式真空泵由于沒有工作流體混入抽取的氣體，從而保證了*的性能。很多成功使用干式泵的人都還沒意識到這一點。

機械增壓泵是干式泵！使用機械增壓泵的人應該知道它的特點（與配合使用的油封前級泵相比）：低維護、高可靠性。前級干泵，比如Drystar 80，和機械增壓泵有很多相同的設計，但是與機械增壓泵不同，干泵可以直接向大氣排氣。使用機械前級干泵可取得和機械增壓泵一樣的可靠性和方便的操作。

DRYSTAR 80和EH/QMB500機械增壓泵的相同之處非常多，包括：
  • 密封的布置：保證潤滑劑一直都在抽氣機制之外（這是保證可靠的干式抽氣性能的關鍵技術）。
  • 兩個轉軸端部的滾柱軸承：保證zui大的支撐和機械可靠性（軸承壽命決定泵的使用期限。如果按推薦的時間間隔進行潤滑，一般要
    5年后才會出現故障 - 以一天運行7小時來計算）。
         - 常規的油位和質量目測
         - 每年更換齒輪箱油*
         - 每年對高真空軸承重上油脂