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              產(chǎn)品中心

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              EDWARDS復(fù)合渦輪分子泵

              簡要描述:EXT255DX Edwards EXT復(fù)合渦輪分子泵適用于除zui苛刻的半導(dǎo)體應(yīng)用和科學(xué)應(yīng)用(這些領(lǐng)域可使用STP系列泵)以外的任何領(lǐng)域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷軸承和磁懸浮軸承的組合形式。陶瓷軸承與傳統(tǒng)軸承相比具有更輕、更硬和更平穩(wěn)的優(yōu)點,以及壽命長、小振動的優(yōu)點。由于軸承滾珠和軸承座使用了不同材料,防止了微小凹陷而提高可靠性。

              • 產(chǎn)品型號:EXT255DX
              • 廠商性質(zhì):代理商
              • 更新時間:2025-11-12
              • 訪  問  量:3216
              • 產(chǎn)品資料:

              詳細(xì)介紹

              品牌Edwards/愛德華產(chǎn)地進(jìn)口
              加工定制

              EXT255DX  Edwards EXT復(fù)合渦輪分子泵

              性能特點

              兼容TIC渦輪儀表控制器。

              多種通訊模式。

              *并口,用于傳統(tǒng)控制信號接口

              * 串口,用于RS-232接口。

              通過RS-232接口,用戶可以設(shè)置各種參數(shù)RS-232。

              * 放氣閥控制設(shè)置。

              * 正常泵速顯示。

              * 準(zhǔn)備轉(zhuǎn)速顯示。

              * 功耗。

              * 泵溫。

              增強(qiáng)型泵速、功耗、溫度監(jiān)測。

              EXT255DX  Edwards EXT復(fù)合渦輪分子泵

              技術(shù)數(shù)據(jù)

              前級泵也可以使用抽速更大的旋片泵,還可使用極限真空小于5mbar的隔膜泵。

              * 超出該入口壓力時,轉(zhuǎn)速為額定轉(zhuǎn)速。
                 ** 此時功率160W。
                 *** 沒安裝入口篩網(wǎng)。安裝篩網(wǎng)時,泵速下降約10%。
                     前級泵為兩級旋片泵,并烘烤48小時。
                     Pb<5 mbar(500 Pa)并烘烤48小時。

              安裝尺寸


              A 放氣口的手動放氣閥

              B 電連接盒

              C 邏輯接頭

              D 前級泵接口

              E 吹掃凈化口(空白)

              F 插座

              G 地線連接

              EXT255DX渦輪分子泵特性曲線


              訂貨信息


              描述

              貨號

              EXT2555DX ISO100

              B753-11-000

              EXT255DX CF100

              B753-12-000

              EXT2555iDX ISO100 級間法蘭DN25NW

              B753-13-000

              TIC 渦輪控制器 200W RS232

              D397-12-000

              TIC 渦輪儀表控制器 200W RS232

              D397-22-000










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