質量流量控制器MFC

質量流量控制器MFCT 系列 MFC

采用熱式傳感器 + 低熱電磁閥 + 壓力傳感技術滿足主流測量精度 ≤±1.0% S.P. (25% - 100% F.S.)重復性對標行業(yè)產品 ( ≤±0.2% F.S. )。

工作原理

• 熱式測量原理：利用兩個溫度傳感器，一個測量氣體的初始溫度，另一個測量被加熱后的氣體溫度，通過計算溫差，并結合氣體的比熱容，精確計算出氣體的質量流量，無需對壓力和溫度的變化進行補償，提高了測量精度1。

• 壓差式測量原理：由壓差式流量傳感器實時測量氣體流經流過節(jié)流元件時產生的壓差來計算氣體的體積流量，控制閥根據流量傳感器的測量與反饋，精確調整開度，以確保通過 MFC 的氣體流量與預設值相匹配2。

產品特點

• 高精度測量：采用先進的傳感器技術和制造工藝，能夠實現(xiàn)高精度的氣體流量測量和控制，測量誤差可低至 ±0.5% 讀數(shù)，重復性達到 ±0.1%，滿足半導體等gaoduan領域對納米級流量波動的嚴苛要求3。

• 快速響應：配備 PID 控制器和高速電磁閥，這些組件能夠在毫秒級的時間內對流量的偏差進行修正，響應時間通常小于 100ms，可及時應對各種動態(tài)變化，確保流量的穩(wěn)定1。

• 寬量程范圍：量程覆蓋范圍廣，從微小流量到高流速場景均可適用，例如可以覆蓋 0.1sccm 至 20000slpm 的范圍，滿足不同應用場景的需求3。

• 多氣體兼容：支持多種氣體的精確測量和控制，如 N?、Ar、H?、SiH?、NH?、CF?等常見氣體，可通過多氣體校準技術，確保在不同氣體測量時都能保持高精度14。

• 良好的穩(wěn)定性：關鍵部件如傳感器和加熱元件通常采用恒溫控制技術，減少溫度漂移對測量精度的影響。同時，采用激光焊接工藝來制造流道，有效避免泄漏現(xiàn)象的發(fā)生，從而保證測量結果的準確性和長期穩(wěn)定性1。

• 多種通訊接口：配備 RS485、Profibus 等通訊接口，支持觸摸屏實時顯示溫度、壓力、標況 / 工況流量等參數(shù)，方便用戶進行遠程操作和監(jiān)控，可與各種自動化控制系統(tǒng)集成3。

應用領域4

• 半導體與電子制造：在晶圓加工、薄膜沉積（CVD/PVD）和刻蝕（Etching）等工藝中，精確控制反應氣體的流量，確保工藝穩(wěn)定性和芯片性能。

• 化工與制藥行業(yè)：用于化學反應過程中控制反應器中氣體的流量，如 O?、CO?等，優(yōu)化反應速率和產物質量。

• 新能源與燃料電池生產：調節(jié)氫氣和氧氣的輸入流量，優(yōu)化電化學反應效率和電池輸出功率，同時也可用于控制電解過程中氧氣和氫氣的分離與流量，以及管理 CO?捕獲和壓縮過程中的氣體流量。

• 環(huán)境監(jiān)測與實驗室：為氣相色譜儀（GC）、質譜儀（MS）等設備提供標準氣體流量，也可用于精確控制環(huán)境監(jiān)測設備的氣體采樣流量，如 PM2.5、VOCs 檢測等。