質(zhì)量流量控制器MFC

質(zhì)量流量控制器MFCT 系列 MFC

采用熱式傳感器 + 低熱電磁閥 + 壓力傳感技術(shù)滿足主流測(cè)量精度 ≤±1.0% S.P. (25% - 100% F.S.)重復(fù)性對(duì)標(biāo)行業(yè)產(chǎn)品 ( ≤±0.2% F.S. )。

工作原理

• 熱式測(cè)量原理：利用兩個(gè)溫度傳感器，一個(gè)測(cè)量氣體的初始溫度，另一個(gè)測(cè)量被加熱后的氣體溫度，通過(guò)計(jì)算溫差，并結(jié)合氣體的比熱容，精確計(jì)算出氣體的質(zhì)量流量，無(wú)需對(duì)壓力和溫度的變化進(jìn)行補(bǔ)償，提高了測(cè)量精度1。

• 壓差式測(cè)量原理：由壓差式流量傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流經(jīng)流過(guò)節(jié)流元件時(shí)產(chǎn)生的壓差來(lái)計(jì)算氣體的體積流量，控制閥根據(jù)流量傳感器的測(cè)量與反饋，精確調(diào)整開(kāi)度，以確保通過(guò) MFC 的氣體流量與預(yù)設(shè)值相匹配2。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 高精度測(cè)量：采用先進(jìn)的傳感器技術(shù)和制造工藝，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的氣體流量測(cè)量和控制，測(cè)量誤差可低至 ±0.5% 讀數(shù)，重復(fù)性達(dá)到 ±0.1%，滿足半導(dǎo)體等gaoduan領(lǐng)域?qū){米級(jí)流量波動(dòng)的嚴(yán)苛要求3。

• 快速響應(yīng)：配備 PID 控制器和高速電磁閥，這些組件能夠在毫秒級(jí)的時(shí)間內(nèi)對(duì)流量的偏差進(jìn)行修正，響應(yīng)時(shí)間通常小于 100ms，可及時(shí)應(yīng)對(duì)各種動(dòng)態(tài)變化，確保流量的穩(wěn)定1。

• 寬量程范圍：量程覆蓋范圍廣，從微小流量到高流速場(chǎng)景均可適用，例如可以覆蓋 0.1sccm 至 20000slpm 的范圍，滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景的需求3。

• 多氣體兼容：支持多種氣體的精確測(cè)量和控制，如 N?、Ar、H?、SiH?、NH?、CF?等常見(jiàn)氣體，可通過(guò)多氣體校準(zhǔn)技術(shù)，確保在不同氣體測(cè)量時(shí)都能保持高精度14。

• 良好的穩(wěn)定性：關(guān)鍵部件如傳感器和加熱元件通常采用恒溫控制技術(shù)，減少溫度漂移對(duì)測(cè)量精度的影響。同時(shí)，采用激光焊接工藝來(lái)制造流道，有效避免泄漏現(xiàn)象的發(fā)生，從而保證測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性1。

• 多種通訊接口：配備 RS485、Profibus 等通訊接口，支持觸摸屏實(shí)時(shí)顯示溫度、壓力、標(biāo)況 / 工況流量等參數(shù)，方便用戶進(jìn)行遠(yuǎn)程操作和監(jiān)控，可與各種自動(dòng)化控制系統(tǒng)集成3。

應(yīng)用領(lǐng)域4

• 半導(dǎo)體與電子制造：在晶圓加工、薄膜沉積（CVD/PVD）和刻蝕（Etching）等工藝中，精確控制反應(yīng)氣體的流量，確保工藝穩(wěn)定性和芯片性能。

• 化工與制藥行業(yè)：用于化學(xué)反應(yīng)過(guò)程中控制反應(yīng)器中氣體的流量，如 O?、CO?等，優(yōu)化反應(yīng)速率和產(chǎn)物質(zhì)量。

• 新能源與燃料電池生產(chǎn)：調(diào)節(jié)氫氣和氧氣的輸入流量，優(yōu)化電化學(xué)反應(yīng)效率和電池輸出功率，同時(shí)也可用于控制電解過(guò)程中氧氣和氫氣的分離與流量，以及管理 CO?捕獲和壓縮過(guò)程中的氣體流量。

• 環(huán)境監(jiān)測(cè)與實(shí)驗(yàn)室：為氣相色譜儀（GC）、質(zhì)譜儀（MS）等設(shè)備提供標(biāo)準(zhǔn)氣體流量，也可用于精確控制環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備的氣體采樣流量，如 PM2.5、VOCs 檢測(cè)等。