ATM 至超高真空 TripleGauge®

Trigon™ BCG552ATM 至超高真空 TripleGauge®

TripleGauge® BCG552 在一個(gè)傳感器法蘭中集成了 3 個(gè)真空傳感元件。這款新型 TrigonTM 系列的旗艦產(chǎn)品具有極寬的測(cè)量范圍，從 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1500 mbar)。由于增加了 ATM 傳感器，BCG552 可用于壓差測(cè)量，并在多個(gè)應(yīng)用中用作真空開(kāi)關(guān)。支持的 Bayard-Alpert 雙燈絲在 UHV 和 HV 范圍內(nèi)具有出色的精度、可重復(fù)性和使用壽命，而微型電容式隔膜真空計(jì)在 ATM 范圍內(nèi)具有出色的精度，并且不受氣體類型的影響。

優(yōu)勢(shì)：

• 1、3 + 1 個(gè)傳感元件，測(cè)量范圍極廣，降低成本，節(jié)省空間

• 2、雙燈絲設(shè)計(jì)

• 3、獨(dú)立于氣體類型的壓力測(cè)量（10 托以上）為任何混合氣體提供更可靠的負(fù)載鎖定控制。

• 4、壓差測(cè)量消除了與大氣壓力變化有關(guān)的不確定性

• 5、自動(dòng)高真空皮拉尼調(diào)節(jié)減少了操作員的干預(yù)

• 6、電隔離電子元件可避免雜散電流

• 7、滑動(dòng)排放模式，避免在切換排放流時(shí)出現(xiàn)壓力跳躍和凍結(jié)現(xiàn)象

• 8、設(shè)定點(diǎn)繼電器

• 9、明亮大屏幕 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉(zhuǎn)），帶用戶界面

• 10、模擬輸出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口

• 11、可與 VGC50x 控制器系列配合使用

• 12、向后兼容 TripleGauge® BCG450

• 13、符合 RoHS 規(guī)范

典型應(yīng)用：

• 1、半導(dǎo)體制程、傳輸和負(fù)載鎖定室中的壓力測(cè)量

• 2、工業(yè)鍍膜

• 3、低真空至超高真空范圍內(nèi)系統(tǒng)的一般真空測(cè)量和控制

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