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簡(jiǎn)要描述：膜厚監(jiān)測(cè)和控制儀使用成熟的 INFICON 石英晶體傳感器技術(shù)在薄膜沉積過(guò)程中測(cè)量速率和厚度。兩個(gè)傳感器輸入為標(biāo)準(zhǔn)輸入，另外四個(gè)傳感器輸入為可選輸入。兩個(gè)錄像機(jī)輸出可提供模擬速率和厚度信號(hào)。
產(chǎn)品型號(hào)：廠商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2025-12-26訪 問(wèn) 量：3308產(chǎn)品資料：產(chǎn)品分類
詳細(xì)介紹
| 品牌 | Inficon/英福康 | 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 加工定制 | 否 |
膜厚監(jiān)測(cè)和控制儀的概述：
SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶體傳感器技術(shù)在薄膜沉積過(guò)程中測(cè)量速率和厚度。兩個(gè)傳感器輸入為標(biāo)準(zhǔn)輸入，另外四個(gè)傳感器輸入為可選輸入。兩個(gè)錄像機(jī)輸出可提供模擬速率和厚度信號(hào)。
傳感器輸入可分配給不同的材料，在大型系統(tǒng)中平均分配以實(shí)現(xiàn)精確的沉積控制，或者配置為雙傳感器。速率采樣模式可在高速率過(guò)程中屏蔽傳感器，從而延長(zhǎng)傳感器的使用壽命。速率顯示為 0.1?/s 或 0.01?/s，用戶可自行選擇。此外，還可以選擇頻率或質(zhì)量顯示。憑借四個(gè)繼電器輸入，SQM-160 可控制來(lái)源或傳感器屏蔽、信號(hào)時(shí)間和厚度設(shè)定點(diǎn)以及信號(hào)晶體失效。數(shù)字輸入允許外部信號(hào)啟動(dòng)/停止和歸零讀數(shù)。
膜厚監(jiān)測(cè)和控制儀的功能
兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量通道，另外四個(gè)可選
模擬輸出便于記錄速率/厚度
高分辨率選件：0.03 Hz，10 讀數(shù)/秒
RS-232 標(biāo)準(zhǔn)接口，可選擇連接 USB 或以太網(wǎng)
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