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              半導體制造中的泄漏測試

              更新時間:2025-08-22      點擊次數:413

              半導體制造中的泄漏測試

              泄漏檢測是半導體制造質量控制的關鍵環節,但這個過程不必繁瑣復雜。傳統的氦氣泄漏檢測往往意味著需要搬運笨重的氦氣瓶、管理數米長的軟管、操作復雜的設備。這些挑戰不僅拖慢檢測速度,還增加了出錯風險和安全隱憂。


              半導體制造中的泄漏測試


              INFICON 推出的 SMART-Spray 無線移動氦氣噴qiang改變了這一局面,顯著提升了泄漏檢測的效率、速度、精度和操作舒適度。改變究竟有多大?讓我們通過 SMART-Spray 與傳統氦氣泄漏檢測的直觀對比,清晰展現其革新價值。


              半導體制造中的泄漏測試

              不帶和帶SMART-Spray的泄漏檢測




              傳統方式
              v s
              SMART-Spray

                                                                               半導體制造中的泄漏測試                                                     已關注                                                                            關注                                                               重播                                                                                                                                                            觀看更多


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                使用 SMART-Spray 之前:

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                笨重難移:大型氦氣瓶操作不便
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                牽絆叢生:長而纏繞的軟管限制移動,增加絆倒風險
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                手動誤差:人工調節噴霧,結果易受操作員影響
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                效率低下:設置耗時,難以覆蓋所有測試點
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                操作受限:需遠程控制讀取泄漏率,噴霧位置難以靈活調整


                使用 SMART-Spray 之后:

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                無線自由:告別軟管和氣瓶束縛,移動不受拘束
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                指尖掌控:設備上可直接選擇 4 種預設氦氣流量,確保測試結果穩定一致
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                實時數據:內置顯示屏清晰顯示泄漏率及設備狀態,一目了然
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                安全升級:地面無雜亂軟管,降低絆倒風險
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                空間解放:無需放置氦氣瓶,為其他操作騰出寶貴空間
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                持久續航:可重復填充、可更換的氦氣罐 (HeliCan) 搭配可充電/可更換電池,保障檢測過程無縫進行



                為何這種對比差異至關重要?

                在半導體制造領域,泄漏率閾值可能低至 1×10?? mbar·L/s,精度要求jigao。SMART-Spray 確保操作員即使在擁有眾多測試點的復雜系統中,也能快速、可靠地完成泄漏測試。


                從對比中可以看出, 這不僅關乎速度提升,更是安全性、效率和易用性的全面躍升。SMART-Spray 通過減少活動部件和簡化流程,顯著降低了操作員的體力負擔和操作失誤風險。


                半導體制造中的泄漏測試





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