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              半導(dǎo)體制造中的泄漏測試

              更新時(shí)間:2025-08-22      點(diǎn)擊次數(shù):549

              半導(dǎo)體制造中的泄漏測試

              泄漏檢測是半導(dǎo)體制造質(zhì)量控制的關(guān)鍵環(huán)節(jié),但這個(gè)過程不必繁瑣復(fù)雜。傳統(tǒng)的氦氣泄漏檢測往往意味著需要搬運(yùn)笨重的氦氣瓶、管理數(shù)米長的軟管、操作復(fù)雜的設(shè)備。這些挑戰(zhàn)不僅拖慢檢測速度,還增加了出錯(cuò)風(fēng)險(xiǎn)和安全隱憂。


              半導(dǎo)體制造中的泄漏測試


              INFICON 推出的 SMART-Spray 無線移動(dòng)氦氣噴qiang改變了這一局面,顯著提升了泄漏檢測的效率、速度、精度和操作舒適度。改變究竟有多大?讓我們通過 SMART-Spray 與傳統(tǒng)氦氣泄漏檢測的直觀對比,清晰展現(xiàn)其革新價(jià)值。


              半導(dǎo)體制造中的泄漏測試

              不帶和帶SMART-Spray的泄漏檢測




              傳統(tǒng)方式
              v s
              SMART-Spray

                                                                               半導(dǎo)體制造中的泄漏測試                                                     已關(guān)注                                                                            關(guān)注                                                               重播                                                                                                                                                            觀看更多


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                使用 SMART-Spray 之前:

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                笨重難移:大型氦氣瓶操作不便
                ??
                牽絆叢生:長而纏繞的軟管限制移動(dòng),增加絆倒風(fēng)險(xiǎn)
                ??
                手動(dòng)誤差:人工調(diào)節(jié)噴霧,結(jié)果易受操作員影響
                ??
                效率低下:設(shè)置耗時(shí),難以覆蓋所有測試點(diǎn)
                ??
                操作受限:需遠(yuǎn)程控制讀取泄漏率,噴霧位置難以靈活調(diào)整


                使用 SMART-Spray 之后:

                ?
                無線自由:告別軟管和氣瓶束縛,移動(dòng)不受拘束
                ?
                指尖掌控:設(shè)備上可直接選擇 4 種預(yù)設(shè)氦氣流量,確保測試結(jié)果穩(wěn)定一致
                ?
                實(shí)時(shí)數(shù)據(jù):內(nèi)置顯示屏清晰顯示泄漏率及設(shè)備狀態(tài),一目了然
                ?
                安全升級:地面無雜亂軟管,降低絆倒風(fēng)險(xiǎn)
                ?
                空間解放:無需放置氦氣瓶,為其他操作騰出寶貴空間
                ?
                持久續(xù)航:可重復(fù)填充、可更換的氦氣罐 (HeliCan) 搭配可充電/可更換電池,保障檢測過程無縫進(jìn)行



                為何這種對比差異至關(guān)重要?

                在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,泄漏率閾值可能低至 1×10?? mbar·L/s,精度要求jigao。SMART-Spray 確保操作員即使在擁有眾多測試點(diǎn)的復(fù)雜系統(tǒng)中,也能快速、可靠地完成泄漏測試。


                從對比中可以看出, 這不僅關(guān)乎速度提升,更是安全性、效率和易用性的全面躍升。SMART-Spray 通過減少活動(dòng)部件和簡化流程,顯著降低了操作員的體力負(fù)擔(dān)和操作失誤風(fēng)險(xiǎn)。


                半導(dǎo)體制造中的泄漏測試





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