超聲波掃描顯微鏡

超聲波掃描顯微鏡（KSI SAT）

-KSI V300E功能特點(diǎn)-    

•  掃描范圍適中：300mm*300mm

•  掃描速度快：2米/秒（加速度30米/平方秒）

•  重復(fù)精度高：+/-0.1微米

•  低噪防誤判探頭：有效去除水花產(chǎn)生的誤判

•  X/Y/Z軸驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)：直線磁懸浮超高速電機(jī)

•  掃描模式：支持點(diǎn)掃描（A-）縱部掃描（B-）橫部掃描（C-）多層橫剖掃描（X-）等

•  主控軟件：Ksi Vision

•  配置選用：檢件臺(tái)定制、透射模組、三維圖像分析軟件、濾波器等可選

中型單探頭超聲波顯微鏡KSI V300E系列（300mm*300mm，+/-0.1um，2m/s）是一款大小合適多用途超掃檢測(cè)機(jī)，其工作原理是利用超聲波通過(guò)耦合介質(zhì)（通常是水）傳輸?shù)綐悠分小Ｍ瑫r(shí)聲學(xué)顯微鏡的評(píng)估單元根據(jù)超聲波信號(hào)的振幅、相位和經(jīng)過(guò)時(shí)間進(jìn)行分析，并從這些信息中創(chuàng)建圖像，從而發(fā)現(xiàn)元器件材料中的斷層、空洞、裂痕、分層等一系列影響產(chǎn)品性能的潛在缺陷。

KSI V300E的超聲波對(duì)其移動(dòng)介質(zhì)的變化和不均勻性反應(yīng)非常敏感，單探頭的設(shè)計(jì)可以有效去除水波干擾，主動(dòng)防震動(dòng)系統(tǒng)能夠確保機(jī)器不受外界干擾，從而保證檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。由此可見(jiàn)它非常適用于失效分析實(shí)驗(yàn)，對(duì)制程中的材料質(zhì)量、工藝控制以及芯片抽檢來(lái)說(shuō)，是bi bu ke shao的一環(huán)。

-Dophin適用產(chǎn)品-

•  大功率IGBT模塊

•  電子元器件

•  塑封集成電路

•  電容銅基器件

•  sic鑄錠和襯底

IGBT超掃檢測(cè)機(jī)——Dophin系列是在常規(guī)C-SAM基礎(chǔ)上升級(jí)的全自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)。可以自主完成送料、檢測(cè)、標(biāo)識(shí)、分類(lèi)、出料的一整套標(biāo)準(zhǔn)流程，包括DCB板、IGBT器件的空洞、氣泡、裂縫、分層等缺陷都能輕松檢出，可快速鎖定半導(dǎo)體器件失效原因，從而提高產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。

日揚(yáng)科技是一家真空領(lǐng)域整合服務(wù)的供應(yīng)商，幫助客戶解決真空難題。我們不僅提供真空閥門(mén)、腔體、配件的OEM/ODM服務(wù)，還提供粉塵尾氣處理（Htc Scrubber）、納米涂層材料（WEH®）、超聲波掃描顯微鏡（KSI SAT）以及推拉力檢測(cè)儀（XYZTEC）等產(chǎn)品。致力于做客戶真空系統(tǒng)解決方案的全面服務(wù)商。