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技術(shù)文章
真空計(jì)種類那么多，如何選擇才？
1皮拉尼真空計(jì)原理
·加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度
·由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時(shí)帶走了能量，電阻絲的溫度會(huì)發(fā)生變化
·熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系
2衍生出兩種類型的皮拉尼規(guī)
1）穩(wěn)定溫度，測(cè)量施加的電壓變化等效測(cè)量真空度（INFICON PSG500）
2）穩(wěn)定電壓，測(cè)量溫度變化等效測(cè)量真空度（熱偶規(guī)）
3氣體的熱傳導(dǎo)，與下列提條件有關(guān)
1）氣體類型
2）壓力大小
4皮拉尼真空計(jì)測(cè)量范圍與精度
測(cè)量范圍（空氣,氧氣,一氧化碳,氮?dú)猓?/span>5 x 10-4至 1000 mbar
精度(氮?dú)?/span>)：
1x 10-3… 100毫巴 ±15%
5 x 10-4… 1 x 10-3毫巴 ±50%
100 ... 1000毫巴 ±50%
5皮拉尼真空計(jì)的優(yōu)特點(diǎn)
燈絲部分在不影響精度與速度的情況下，加以zui大的保護(hù)，
大大延長(zhǎng)了燈絲的使用壽命。
6皮拉尼真空計(jì)具體型號(hào)
·PSG050/051
·PSG100-S PSG101-S
·PSG500/500-S PSG502
·皮拉尼電容膜片復(fù)合真空計(jì)PCG400 PCG410 PCG550
1）有皮拉尼規(guī)與特制的陶瓷薄膜規(guī)合成在一起
2）兩種原理的規(guī)管全過程都工作
3）100 mbar—1000 mbar 使用薄膜規(guī)信號(hào)
4）1 mbar– 100mbar 兩規(guī)信號(hào)同時(shí)采用
5）5x10-4mbar –1 mbar 采用皮拉尼信號(hào)
6）輸出的真空度信號(hào)（電壓）連續(xù)，無跳躍
7皮拉尼真空計(jì)應(yīng)用行業(yè)
·各種高真空泵的前級(jí)壓力測(cè)量，如光伏、鍍膜、等離子行業(yè)
·各種中低真空測(cè)量，如照明，冶金
·真空連鎖控制，高真空計(jì)的點(diǎn)火開關(guān)控制，如PEG100
·PSG050可*替代TR211，PSG051可*替代TR216
·PCG400 PCG410(現(xiàn)在已升級(jí)為PCG550，PCG400/PCG410已經(jīng)停產(chǎn)）與PSG500 基本相同，但彌補(bǔ)了皮拉尼規(guī)大氣測(cè)量段精度不足的弱點(diǎn)，而且不受氣體類型的影響，在真空爐，單晶爐，多晶爐，藍(lán)寶石爐上廣泛應(yīng)用
·PSG100 PSG101，與PSG500/PSG050基本相同，但以為具有通訊協(xié)議功能，在大系統(tǒng)中應(yīng)用廣泛
二、電容薄膜規(guī)
CDG025D/CDG045/100/160/200
1電容薄膜規(guī)工作原理
·壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關(guān)系
·通過測(cè)量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測(cè)量真空度
2電容薄膜規(guī)特點(diǎn)
·以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎(chǔ)構(gòu)成
·在嚴(yán)酷和腐蝕性環(huán)境中,穩(wěn)定與可靠的高精度壓強(qiáng)測(cè)量
·快速的預(yù)熱和恢復(fù)時(shí)間,提高生產(chǎn)率
·的長(zhǎng)期穩(wěn)定性,再現(xiàn)性和重復(fù)性
·由于電子學(xué)直接安裝在傳感器上,改進(jìn)了溫度補(bǔ)償和EMC兼容性
·對(duì)環(huán)境條件變化的敏感度的降低使得測(cè)量更穩(wěn)定
·快速預(yù)熱在開機(jī)的一分鐘內(nèi)達(dá)到快速穩(wěn)定和進(jìn)入準(zhǔn)備使用狀態(tài)
·一鍵按鈕: 調(diào)零功能和設(shè)點(diǎn)調(diào)整
·抗腐蝕超純陶瓷傳感器
·能經(jīng)受數(shù)百萬次壓強(qiáng)循環(huán)周期,包括大氣壓沖擊,無任何降低性能的跡象
·暴露大氣壓后快速恢復(fù),無需隔離閥
·對(duì)蒸氣介質(zhì)不敏感
·傳感器屏蔽 ()延長(zhǎng)真空計(jì)在污染的工藝過程中的使用壽命
3INFICON陶瓷技術(shù)
·陶瓷技術(shù)的*性
1）無 “記憶” 效應(yīng) 2）陶瓷無疲勞問題 3）的溫度補(bǔ)償 4）的零點(diǎn)穩(wěn)定性
·低使用成本
1）非凡的使用壽命 2）無需隔離閥
4Sky CDG025D測(cè)量范圍
5加熱型薄膜規(guī)
6加熱型優(yōu)點(diǎn)
·零飄極小0.1%FS/年（干凈真空環(huán)境）
·更高的精度
·環(huán)境溫度變換/環(huán)境壓力變化/環(huán)境氣流變化對(duì)精度無影響
·比工藝更快的預(yù)熱啟動(dòng)時(shí)間’
·快速恢復(fù)時(shí)間 大氣壓 < 1 min within 5mV
·任意安裝角度
·抗污染，可有效抵抗工藝氣體或工藝產(chǎn)生氣體的腐蝕影響
7電容薄膜規(guī)的應(yīng)用
要求高的應(yīng)用條件下，而快速的壓強(qiáng)測(cè)量
·用于刻蝕，CVD、PVD、ALD半導(dǎo)體設(shè)備制造，如太陽能光伏行業(yè)的PECVD用的很多，刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多，抗污染性能比較好。一般國(guó)內(nèi)用的PECVD還有多晶爐上用的MKS的電容薄膜規(guī)622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比較多，如德國(guó)Ruth&Rau公司的PECVD設(shè)備標(biāo)配產(chǎn)品為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,質(zhì)量流量計(jì)用的是1179BX23CR14VSPC1 800sccm/SiH4和1179BX5CR14NSPC1 2000sccm/NH3，國(guó)內(nèi)用的好多PECVD設(shè)備上用的是INFICON的CDG025D。
·資料貯存和顯示器制造設(shè)備
·工業(yè)真空設(shè)備
·常用高精度真空測(cè)量
三、熱電離規(guī)
1熱電離規(guī)原理
Richardson 效應(yīng): 高溫?zé)艚z發(fā)射電子，高能量電子撞擊氣體分子，氣體分子的一個(gè)或多個(gè)電子被撞擊出去，形成帶正電的離子。
1）帶電離子被離子收集極捕捉收集放大輸出
2）離子流的大小與氣體壓力成比例關(guān)系
2兩種類型熱電離規(guī)
3熱電離型復(fù)合規(guī)
·HPG400
·BPG400/-SP/-SD/SR
·BPG402
·BCG450 B-A規(guī)，皮拉尼規(guī)，薄膜規(guī)三種型號(hào)復(fù)合在一起
4優(yōu)點(diǎn)及應(yīng)用
·BPG
■測(cè)量范圍寬，一個(gè)規(guī)管覆蓋13個(gè)量程5x10-10–1000 mbar
■精度高，*的重復(fù)性5%
■燈絲材料鍍釔的銥絲有*的抗氧化能力，皮拉尼自鎖保護(hù)，使燈絲并不會(huì)因突然暴露大氣而燒毀。
■方便的校準(zhǔn)調(diào)節(jié)
■注意事項(xiàng)：
◆對(duì)氣體有選擇性
◆抗污染能力弱
■普遍應(yīng)用于從低到超高真空的測(cè)量
■在工業(yè)，半導(dǎo)體，研究行業(yè)應(yīng)用廣泛
BPG402
■雙燈絲，大大延長(zhǎng)使用壽命
■電離規(guī)的工作可以自定義控制
■探頭備件自帶校準(zhǔn)參數(shù)，保證精度與重復(fù)性
HPG400
■電離規(guī)與皮拉尼的復(fù)合
■皮拉尼自鎖保護(hù)電離規(guī)
■電離規(guī)的工作啟動(dòng)點(diǎn)可以一定范圍內(nèi)自定義
■簡(jiǎn)易的校準(zhǔn)功能
■相對(duì)便宜的價(jià)格
BCG450
■可調(diào)的電離規(guī)工作起點(diǎn)
■的重復(fù)性
■的大氣端測(cè)量
四、冷電離規(guī)（潘寧規(guī)）
1冷電離規(guī)原理
通過氣體放電方式產(chǎn)生電子，通過磁場(chǎng)使電子獲得能量將氣體分子電離。
2潘寧規(guī)特點(diǎn)與應(yīng)用
·測(cè)量范圍：5 x 10-9 to 1 x 10-2 mbar
·全金屬密封
·無燈絲
·易清洗
·應(yīng)用于普通的高真空測(cè)量
3冷規(guī)復(fù)合規(guī)MPG400特點(diǎn)與應(yīng)用
·冷規(guī)與皮拉尼規(guī)的復(fù)合
·測(cè)量范圍廣： 5x10-9-1000 mbar
·易于保養(yǎng)清洗
·無高真空燈絲，
·應(yīng)用于普通高真空測(cè)量
4冷規(guī)及復(fù)合規(guī)性能比較
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